让中国光刻机“变成废铁”，外媒：比美国人还绝。 这事儿说起来，还得从2023年那个春节说起。那天是1月27日，中国人正忙着过年，美国那边却没闲着，拉着日本和荷兰在华盛顿开会，商量怎么限制对华出口半导体设备。结果三国一拍桌子，达成协议，从那以后，日本就开始在半导体制造工具上对中国卡脖子。 2023年7月，日本突然调整半导体设备出口政策，把原本只需登记就能出口的23类设备，全部改成了逐件审批制。 这一改不要紧，小到光刻机里的专用螺丝、生产芯片必需的光刻胶，大到刻蚀机的核心模块，每一样都得经过日本政府层层审核，平均审批周期直接拉长到3个月以上，不少中国芯片厂的生产线一下子陷入了被动。 比起美国直接禁止向中国出口EUV光刻机的“明牌打法”，日本这招明显更隐蔽也更狠。美国的限制主要针对还没量产的高端技术，想卡中国先进芯片的脖子；但日本却把目标对准了中国已经投产的成熟制程生产线。 就拿光刻胶来说，日本JSR、信越化学这两家企业占据了全球70%以上的市场份额，尤其是用于28nm制程的ArF光刻胶，中国目前高度依赖进口。政策调整后，国内某芯片代工厂原本每月采购的光刻胶，连续两个月都没通过审批，生产线不得不减产30%。 更让人头疼的是设备维修和备件供应。上海一家半导体设备商负责人透露，他们代理的日本某品牌光刻机，原本承诺48小时内提供维修服务，但政策收紧后，日方不仅拖延备件发货，连远程技术支持都开始受限。 有一次一台光刻机的激光模块出现故障，日方以“涉及敏感技术”为由，拒绝派遣工程师来华，最后只能靠国内团队逆向拆解研究，硬生生花了21天才恢复运转，这期间工厂损失超过2000万元。 这种“釜底抽薪”的方式，正如外媒评价的那样：“美国人想让中国造不出更先进的芯片，日本人却想让中国现在的芯片也造不出来。” 日本的管制清单里还藏着不少“冷门类目”，比如半导体检测设备里的探针卡、薄膜沉积设备的反应腔部件，这些看似不起眼的零件，大多只有日本企业能生产。 深圳某芯片设计公司就遇到了难题，他们委托代工厂生产的汽车芯片，需要用特定型号的探针卡进行检测，而这种探针卡只有日本东京电子能提供。审批卡住后，几十万片芯片没法完成质检，只能堆在仓库里，眼看着就要错过汽车厂商的交货期。 面对这种情况，国内企业也开始加速自救。不少芯片厂加大了国产替代的研发投入，某头部晶圆厂已经将光刻胶的国产采购比例从10%提升到35%，虽然部分国产产品在纯度上还略有差距，但基本能满足成熟制程的需求。 设备维修方面，一些第三方维修企业也应运而生，通过回收二手设备拆解备件、自主研发替代零件，逐渐打破日方的技术垄断。就像北京一家维修公司，最近成功研发出某型号光刻机的激光校准部件，价格只有进口产品的三分之一，交货周期还能缩短到一周。 官方信源： 1. 人民网：日本加强半导体设备出口管制 业界担忧影响全球供应链 2. 第一财经：日本半导体设备管制落地满月：中国企业加速国产替代应对 3. 澎湃新闻：光刻胶供应告急？国内晶圆厂加速国产替代，部分产品已量产
