这台机器是 ASML 的高数值孔径极紫外 (High-NA EUV) 光刻机，其正式名称通常与 TWINSCAN EXE 系列 相关。 关于这款“最先进芯片制造机”的关键信息： 技术飞跃：该机器将数值孔径 (NA) 从上一代系统的 0.33 提高到了 0.55。其分辨率达到 8 纳米，精细度是前一代产品的 1.7 倍，使芯片制造商能够生产密度更高、性能更强的晶圆。 庞大体量：整台设备重达 15 万公斤（约 150 吨），重量相当于两架空客 A320 飞机。安装过程极为复杂，涉及 250 名工程师 的共同协作，耗时 6 个月。 昂贵身价：每台机器的售价高达 3.5 亿欧元（约 3.8 亿美元）。 主要客户：英特尔是首个订购该系统的客户，第一台机器已于 2023 年底交付至其位于俄勒冈州的 D1X 工厂，并计划于 2025 年底开始生产。虽然台积电起初对高昂价格表示担忧，但也已证实将接收该设备。 ASML 是全球 唯一 一家具备制造这种 EUV 工具能力的公司，其产品被视为最先进芯片制造（如 2nm 及更先进制程）的关键支撑。
