曝中芯国际首款5nm光刻机正在测试这话题真的看不明白，正文说的是测试28纳米DU

李子墨啊 2025-09-17 18:22:12

曝中芯国际首款5nm光刻机正在测试

这话题真的看不明白，正文说的是测试28纳米DUV利用多重曝光技术生产7纳米芯片，甚至生产5纳米芯片，但是良率偏低，然后话题说的又是首款5纳米光刻机正在测试，有点牛头不对马嘴，这到底是光刻机达到5纳米了，还是说利用多重曝光生产5纳米芯片啊？

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