光刻机概念股全梳理：从核心部件到产业链布局，这些企业值得关注
近期，光刻机概念在资本市场持续活跃，相关个股表现亮眼。其中，海立股份预计净利润同比增长625.83%到756.71%，多日涨停，进一步提升了市场对该板块的关注度。以下从产业链参与角度，梳理12家核心概念股的业务布局：
一、直接关联光刻机整机企业
- 张江高科（600895）：持有国内唯一具备90nm及以上光刻机整机研发能力的上海微电子约9.088%股权，是光刻机整机领域的重要参与者。
- 东方明珠（600637）：通过持股21.33%的上海信息，间接持有上海微电子股份，曲线参与光刻机产业链。
- 上海电气（601727）：其母公司为上海微电子第一大股东，深度布局光刻机产业链，在整机环节有重要影响力。
二、聚焦光学系统与核心部件
- 奥普光电（002338）：作为长春光机所唯一上市平台，绑定优质科研资源，或承担光刻机光学系统研发任务，在光学领域具备技术优势。
- 波长光电（301421）：光刻机平行光源系统供应商，产能扩充计划可覆盖DUV、EUV需求，直接供应关键光源部件。
- 茂莱光学（688502）：精密光学器件已应用于国产光刻机，供应匀光模块、投影物镜等核心部件，是光学部件领域的重要参与者。
- 赛微电子（300456）：为光刻机厂商提供MEMS透镜部件及相关精密光学组件，在精密光学领域有稳定供应能力。
- 苏大维格（300331）：向上海微电子提供光刻机用定位光栅产品，定位精度可达1nm以下，保障光刻机的精准定位。
三、上游材料与关键配套
- 福晶科技（002222）：BBO晶体市占率全球第一，其产品是光刻机激光光源系统的上游关键材料，为光源系统提供核心支撑。
四、设备控制与辅助系统
- 电科数字（600850）：子公司柏飞电子可向半导体装备生产商提供光刻机的控制器，在设备控制环节发挥作用。
- 蓝英装备（300293）：具备为ASML供应EUV光刻机清洗设备及解决方案的能力，是光刻机精密清洗领域的重要企业。
- 美埃科技（688376）：可提供满足ISO Class 1级标准的光刻机洁净环境设备，为光刻机运行提供洁净环境保障。
这些企业从整机关联到核心部件、上游材料，再到设备控制与辅助系统，覆盖了光刻机产业链的多个关键环节，共同构成了国内光刻机领域的重要力量。随着技术的不断突破，相关企业的市场关注度有望持续提升。
